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擴(kuò)散硅壓力變送器DBYG-6000/ST501自儀一廠
擴(kuò)散硅壓力變送器DBYG-6000/ST501自儀一廠概述
被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的陶瓷/擴(kuò)散硅膜片/上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移,正常工作狀態(tài)下,膜片最大位移不大于0.025毫米,電子線路檢測這一位移量后,即把這一位移量轉(zhuǎn)換成對應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)測量信號。超壓時膜片直接貼到堅(jiān)固的陶瓷基體/擴(kuò)散硅上,由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米,因此過壓時膜片的最大位移只能是0.1毫米,所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會產(chǎn)生過大變形,該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高可靠性。
擴(kuò)散硅壓力變送器DBYG-6000/ST501自儀一廠主要特點(diǎn)
1、穩(wěn)定性高-每年優(yōu)于0.1%滿量程。
2、溫度偏移小-由于取消了測量元件中的中介液,因而傳感器不僅獲得了很高的測量精度.
3、可靠性好-采用大規(guī)模IC,電路可靠性好,抗干擾性能強(qiáng)。
4、適用性廣-產(chǎn)品具有多種型號,多種過程連接形式,可適應(yīng)工業(yè)測量中的各種介質(zhì)。
5、安裝維護(hù)簡便產(chǎn)品結(jié)構(gòu)合理,體積小,重量輕,可直接任意位置安裝。
缺點(diǎn)是:
低于0℃后,溫度穩(wěn)定性大幅度降低
不能承受動態(tài)壓力
膜片較易損傷
擴(kuò)散硅壓力變送器
20世紀(jì)90年代中期,美國Icscnsor,公司,Nova公司應(yīng)用硅品石和硅品片益合兩項(xiàng)科技生產(chǎn)了新型擴(kuò)散硅壓力傳感器并開發(fā)出具有精度高、重復(fù)性小、抗腐蝕的擴(kuò)散硅壓力變送器
過程壓力通過隔離膜片、密封硅油傳輸?shù)綌U(kuò)散硅膜片上,同時參考端的壓力(大氣壓)作用于膜片的另一端。這樣膜片兩邊的壓差產(chǎn)生一個壓力場,使膜片的一部分壓縮。另一部分拉伸,在壓縮區(qū)和拉伸區(qū)分別有兩個應(yīng)變電阻片,以感受壓力引起的阻值的變化,從而將壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號.擴(kuò)散硅在低溫零度以下、高溫85℃以上難以正常使用,也不適用于20MPa以上的高壓。
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